Geht es um Kontamination im Reinraum, so heißt das primäre Überwachungsziel in der Regel „Partikel“. Das ist nicht verwunderlich, denn Partikel tummeln sich millionenfach in der Luft – pro Kubikmeter wohlgemerkt. Es gibt allerdings eine weitere Form der Verunreinigung, die bei Planung und Realisierung von Reinräumen gern unterschätzt wird: Die molekulare Verunreinigung (Airborne Molecular Contamination AMC). Dabei handelt es sich um gas- oder dampfförmige Substanzen, oft Ausgasungen von Material, Prozesschemikalien oder flüchtige organische Verbindungen. Molekulare Verunreinigungen sind meist wesentlich kleiner als Partikel und können zu nicht kontrollierbaren chemischen Reaktionen, Korrosion oder Schichtbildung auf Oberflächen führen. Vor allem in der Halbleiterfertigung können sie erhebliche Probleme verursachen.

Was ein Reinraum ist, dafür gibt es natürlich eine offizielle Definition. In der Richtlinie VDI 2083 heißt es: „Ein Reinraum ist ein durch eine Wand oder Vergleichbares abgegrenzter Bereich, dessen Reinheitsgrad durch Einleitung gereinigter Luft mit Überdruck erreicht wird.“

Schon kleinste Partikel oder Verunreinigungen können Produkte unbrauchbar machen oder sensible Fertigungsprozesse stören – mit hohen Kosten als Folge. Reinräume schaffen kontrollierte Bedingungen und garantieren höchste Reinheitsstandards. Doch wie plant man einen Reinraum richtig? Welche Ausstattung ist erforderlich? Und worauf kommt es im Betrieb an?