CleanroomProcesses

17.04.2023
AGREE
Fraunhofer-Institut für Produktionstechnik und Automatisierung IPA

AGREE steht für „Analysis of gravimetrically detectable residues by efficient extraction”. Es handelt sich um einen Baukasten, der zur Prüfung und Spezifikation filmischer Rückstände, wie beispielsweise Öl, Fette oder Fingerabdrücke, eingesetzt wird. Diese Prüfung hinsichtlich dieser Rückstände ist besonders wichtig, da zahlreiche Nachfolgeprozesse eine definierte Oberflächenreinheit erfordern.

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