Pfeiffer Vacuum stellt mit OmniGrade ein neuartiges Restgasanalysesystem (RGA) vor, das speziell für anspruchsvolle Reinheitsnachweise in verschiedenen technischen Bereichen entwickelt wurde. Dieses System zeichnet sich durch seine niedrigen Nachweisgrenzen und einen automatisierten Messprozess aus, wodurch es für Anwendungen in schnell wachsenden Märkten mit hohen Reinheitsanforderungen, wie z.B. der EUV-Lithographie, ideal geeignet ist. OmniGrade ist modular aufgebaut und kann individuell an die spezifischen Bedürfnisse der Kunden angepasst werden.
Das System besteht aus zwei oder drei Kammern: einer Spektrometerkammer, in der das Massenspektrometer positioniert wird, einer Messkammer für die Proben während der Messung und optional einer Schleusenkammer zur Minimierung des Systemuntergrunds. Die Kunden können zwischen verschiedenen Massenspektrometern wählen (PrismaPro oder HiQuad), und das System bietet die Möglichkeit des thermischen Heizens zur Optimierung der Messfähigkeit und Verbesserung der Probenreinheit.
OmniGrade ist für geringen Platzbedarf konzipiert und lässt sich einfach mit den neuesten Schnittstellen integrieren. Es ist auch reinraumkompatibel. Patrick Walther, Strategic Product Manager Instruments bei Pfeiffer Vacuum, betonte auf der Precision Fair, dass OmniGrade mit energieeffizienten Komponenten und fortschrittlichen Technologien ausgestattet ist, die dazu beitragen, Abfall und Emissionen zu reduzieren und die Reinheitsüberprüfungsprozesse zu optimieren. Dadurch wird eine effizientere Ressourcennutzung in der Produktion des Kunden ermöglicht.
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