Thema dieses Vortrags ist der Einfluss von Airborne Molecular Contamination (AMC) auf Prozesssicherheit und -ausbeute. Reinräume werden nach maximalem Prozessfluss und -ausbeute konstruiert, hierbei müssen die engen Bedingungen der Prozessfenster und die Servicefreundlichkeit des Prozessequipments eingehalten werden. Bei strenger Kosten- und Flächenoptimierung stören AMC bei der Reinraumauslegung und in der Produktion durch Ausbeuteminderung. Durch den Einsatz von maßgeschneiderten Lösungen, bestehend aus Filter Fan Units (FFU), HEPA-Filtern und Molekularfiltern, kann die Produktausbeute gezielt erhöht werden.
The topic of this presentation is the influence of Airborne Molecular Contamination (AMC) on process safety and yield. Cleanrooms are designed to maximize process flow and yield, while the tight conditions of the process window and the serviceability of the process equipment must be maintained. With strict cost and space optimization, AMC interferes with cleanroom design and production by risking yield reduction. When using customized solutions consisting of filter fan units (FFU), HEPA filters and molecular filters, the product yield can be increased in a targeted manner.
