Dieser Vortrag zeigt mögliche Wege zu nachhaltigen Hightech-Reinräumen durch Zirkularitätsstrategien. Systeme werden durch Wartung, Wiederverwendung und Aufarbeitung im Kreislauf gehalten, während unbrauchbare Materialien entweder umgenutzt oder an externe Recyclinganlagen überführt werden. Die Ökobilanz (LCA) und die Umweltproduktdeklarationen (EPDs) liefern die wissenschaftliche Grundlage zur Bewertung der Umweltauswirkungen, insbesondere des Potenzials der globalen Erwärmung (GWP) und der CO2-Emissionen. Ziel ist es, innovative Ansätze zu beleuchten, um Ressourcen effizienter zu nutzen und sowohl Umweltauswirkungen als auch Kosten langfristig zu reduzieren.