17.04.2023
Kompaktes Ionisationsgebläse 5941
In-tool Micro Blower 5941
PMT Partikel-Messtechnik GmbH

Dieses Gebläse der Simco-Ion Micro-Serie wurde speziell für anspruchsvolle Anwendungen in kritischen Umgebungen entwickelt, bei denen der Platz knapp ist. Das neue Mikrogebläse 5941 ist kompakt, aber außerordentlich effektiv und erfüllt die aktuellen Anforderungen an moderne und automatisierte Produktionsprozesse. Mit einer Höhe von nur 110 mm und einer Breite von 80 mm bietet dieses erstaunlich kompakte In-Tool-Gebläse eine hervorragende Eignung für die Back-End-Halbleiterumgebungen. 

Das Mikrogebläse kann darüber hinaus mit dem NOVX System verbunden werden, um einen geschlossenen Regelkreis mit permanenter, sekundengenauer Aufzeichnung der Spannung zu erhalten. Weiterhin ist eine Alarmierung bei Überschreitung einer definierten Maximalspannung oder eines ESD Ereignisses möglich.

Simco-Ion’s Micro series blowers are designed for advanced critical environment in-tool applications where space is a constraint. The new 5941 Micro blower is compactly designed but exceptionally effective to meet current requirements for advanced automated process tools. Only 110 mm high and 80 mm wide, this amazing compact in-tool blower offers outstanding performance in back-end semiconductor environments.

Model 5941 maintains a ±3V or better balance standard, safeguarded by an exclusive two-level notification feature allowing preventative adjustment time for continuous operations. An internal, automatic balance correction system ensures target devices are ionized accurately, presenting a significant reduction in calibration and maintenance time resulting in cost savings.

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