Basierend auf dem grundlegenden Funktionsprinzip eines Tribometers wird ein Prüfstand zur Aufprägung reproduzierbarer Belastungskollektive und zur Erfassung des Partikelemissionsverhaltens von Werkstoffpaarungen, sowohl unter atmosphärischen als auch feuchtigkeitsreduzierten Umgebungsbedingungen vorgestellt. Der realisierte reinraumtaugliche Friktionspartikelprüfstand lässt die zeitaufgelöste, querkontaminationsfreie Bestimmung der Anzahl der Partikel und deren Fraktionsgrößen zu, die bei der reibenden Belastung einer Werkstoffpaarung unter Rein- und Trockenraumbedingungen generiert werden. Bei der Entwicklung der Methode zur reinheitstechnischen Bewertung der Partikelemission von Werkstoffpaarungen wird durch die Kombination mathematischer Kumulations- und Regressionsverfahren eine eindeutige Bewertung der Trockenreinraumtauglichkeit von Werkstoffpaarungen erreicht. Der entwickelte Prüfstand sowie die Bewertungsmethode werden hinsichtlich der Erfüllung des Anforderungsprofils vorgestellt.
Based on the basic functional principle of a tribometer, a test rig is presented for imprinting reproducible load collectives and for recording the particle emission behaviour of material pairings, both under atmospheric and moisture-reduced ambient conditions. The cleanroom-compatible friction particle test rig that has been realised allows the time-resolved, cross-contamination-free determination of the number of particles and their fraction sizes that are generated during the frictional loading of a material pairing under cleanroom and dryroom conditions. In the development of the method for the cleanliness-related evaluation of the particle emission of material pairings, a clear evaluation of the dry cleanroom suitability of material pairings is achieved through the combination of mathematical cumulation and regression methods. The developed test rig and the evaluation method are presented with regard to the fulfilment of the requirement profile.
