Kritische Prozessumgebungen wie Reinräume, Developer-Systeme, Prüfkammern oder hochdynamische Prüfstände stellen extreme Anforderungen an die klimatischen Umgebungsbedingungen. Temperaturstabilität im Millikelvin-Bereich, engste Toleranzen der relativen Luftfeuchtigkeit sowie eine dauerhaft stabile Druckintegrität sind in diesen Anwendungen keine Komfortparameter, sondern integrale Bestandteile der Prozessführung.
Der Fachvortrag beleuchtet, warum klassische HVAC-Systeme und zentralisierte Versorgungsstrukturen diese Anforderungen nur begrenzt abdecken können und wo deren physikalische und regelungstechnische Grenzen liegen.
Im Fokus stehen grundlegende Prinzipien und Architekturansätze zur hochpräzisen Regelung von Temperatur, Feuchte und Druck in anspruchsvollen Prozessumgebungen.
Anhand typischer Anwendungsszenarien wird erläutert, wie das Präzisionsklimakonzept A²HTC als prozessnahes, eigenständig geregeltes System ausgelegt ist und welche technischen Überlegungen hinter seiner Entwicklung stehen.
Der Vortrag vermittelt ein tiefes Verständnis dafür, wie eine entkoppelte, hochdynamische Klimaregelung konzipiert werden kann, um künftig höchste Anforderungen an Prozessstabilität, Reproduzierbarkeit und Druckintegrität zu unterstützen.