Bei der Wartung, Reinigung und Reparatur von Prozessanlagen und -einrichtungen werden zahlreiche Partikel und Chemikalien in die Umgebung freigesetzt. Durch Reaktionen mit der Umgebungsluft (z. B. Sauerstoff, Feuchtigkeit, Kohlendioxid) entstehen gasförmige, flüssige und feste Chemikalien, die in keinem Sicherheitsdatenblatt oder Handbuch dokumentiert sind. Diese Freisetzung hat erhebliche Auswirkungen auf Umwelt-, Gesundheits- und Arbeitsschutz (EHS), die Reinraumintegrität und die Prozesssicherheit sowie die Gefahr von Defekten. Da SEMI F21-1066 nun auch eine neue Schadstoffklasse, nämlich molekulare Metalle (MM), aufführt, nachdem in der Anfangsphase molekulare Säuren, Basen, kondensierende Stoffe und Dotierstoffe (MA, MB, MC, MD) identifiziert wurden, trägt eine Kombination aus Filter-Lüfter-Einheiten (FFU), HEPA-Filtern und Molekularfiltern dazu bei, die Verunreinigungen durch hocheffiziente Reinraumluftfiltration zu entfernen und zu kontrollieren.