In modernen Fertigungsprozessen ergibt sich die Anforderung, die Umgebungsbedingungen während des Fertigungsprozesses genau zu überwachen und gegebenenfalls innerhalb einer Bandbreite zu regeln. Typisch für solche Anforderungen sind z.B. Halbleiterproduktionen oder medizintechnische Fertigungen. Als „Umgebungsbedingungen“ ist außer der Umgebungstemperatur vor allem die relative Feuchte von Bedeutung. Im Fertigungsprozess selbst ergibt sich häufig die Notwendigkeit Feuchtigkeit von Prozessgasen (z.B. Trocknungsprozesse) genau zu überwachen.
Messmittelüberwachung, Kalibrierung und Rückführbarkeit ist ein zentrales Thema der meisten Qualitätssicherungssysteme. Es wird die Hierarchie der nationalen und internationalen messtechnischen Rückführungskette sowie die Möglichkeiten einer betriebsinternen und externen messtechnischen Rückführung (Kalibrierung) anhand von grundsätzlichen Verfahren der Feuchtekalibrierung vorgestellt. Die grundlegenden Beiträge zur Messunsicherheit bei Kalibrierungen werden diskutiert sowie auf Kalibrierintervalle und Kalibrierumfang eingegangen.
In modern manufacturing processes, there is a requirement to precisely monitor the ambient conditions during the manufacturing process and, if necessary, to control them within a bandwidth. Typical examples of such requirements are semiconductor production or medical technology manufacturing. In addition to the ambient temperature, the relative humidity is particularly important as "ambient conditions". In the manufacturing process itself, there is often a need to precisely monitor the humidity of process gases (e.g. drying processes).
Monitoring measuring equipment, calibration and traceability is a central issue in most quality assurance systems. The hierarchy of the national and international metrological traceability chain and the possibilities of internal and external metrological traceability (calibration) are presented on the basis of basic humidity calibration procedures. The fundamental contributions to measurement uncertainty in calibrations are discussed and calibration intervals and calibration scope are addressed.
