Eine richtungsdefinierte Luftführung in Reinräumen schützt Produkte vor Verunreinigungen und störende Partikel werden sicher abgeführt. Hierzu wird in Reinräumen mit hohen Reinheitsklassen eine gleichmäßige Luftströmung von der Decke zum Boden aufrechterhalten. Der Überwachungsbereich reicht von 0,36 bis 0,54 m/s Strömungsgeschwindigkeit (EU GMP Leitfaden, Annex 1 in Klasse A). Diese Messung erfolgt reinraumseitig nach endständigen Filtern.
Definierte Überdrücke garantieren die Prozesssicherheit in Reinräumen durch Überströmung von einem Raum zum anderen. Diese Überströmung wird üblicherweise mittels Drucksensoren indirekt überwacht. Werden Türen oder Schleusen geöffnet, fällt der Druck oft unter die Messbereichsgrenze des Drucksensors, er zeigt keinen Überdruck an. In dieser Phase liegen dem Reinraumbetreiber keinerlei Informationen (Messwerte) über die tatsächliche Überströmung vor. Es kann jedoch eine Rückströmung und somit ein Kontaminationseintrag vorliegen, ohne dass dies bemerkt wird - trotz korrekt betriebener Druckmessung.
Im Vortrag wird auf die unterschiedlichen Anwendungsfelder der Strömungsmessung im Reinraum eingegangen, die Gegebenheiten vor Ort und die normativen Anforderungen beleuchtet und auch der Zusammenhang zwischen Differenzdruck und Luftströmung dargestellt. Außerdem wird auf üblicherweise verwendete Verfahren eingegangen und häufig gemachte Fehler aufgezeigt.
Einsatzfelder im Reinraum – Überströmung
• Messsituation
• Zusammenhang Druck – Strömung
• Anforderungen
Einsatzfelder im Reinraum – Laminar Flow
• Verwendete Verfahren
• Flügelrad
• Thermische Anemometer
• Positionierung
• Häufige Fehler
• Abgleich und Kalibrierung beim Hersteller
Zusammenfassung
A direction-defined airflow in clean rooms protects the products against contaminations and unwanted particles will safely be evacuated. To do so, a uniform airflow from the ceiling to the floor (“oriented, low-turbulence displacement flow“) is maintained in cleanrooms of high purity levels. The monitoring range is from 0.36 to 0.54 m/s flow velocity (EU GMP guide, Annex 1 in class A). In the cleanroom the measurements are made behind terminal filters.
Defined overpressures ensure process safety in cleanrooms through overflow from one room to the other. This overflow is usually monitored indirectly via pressure sensors. When doors or airlocks are opened, the pressure often falls below the desired operating limit of the pressure sensor, thus indicating no overpressure. In this phase, the cleanroom operator has no information (measured values) on the actual overflow. However, a backflow can be present and, consequently, contamination may have occurred. This will not be noticed despite a correctly performed pressure measurement.
The lecture will look at the various fields of application for flow measurement in cleanrooms, the conditions on site and the normative requirements, and also the relationship between differential pressure and airflow. In addition, commonly used methods will be discussed and common mistakes will be pointed out.
Fields of application in cleanrooms - overflow
• Measuring situation
• Relationship between pressure and flow
• Requirements
Fields of application in cleanrooms - laminar flow
• Methods used
• Vane probe anemometers
• Thermal anemometers
• Positioning
• Common errors
• Adjustment and calibration by the manufacturer
Summary
