Erhöhung von Prozessausbeute und -sicherheit in Reinräumen
Mann+Hummel Molecular GmbH · Manfred Zoermer
23.04.2024, 09:00 · Raum 7
Thema dieses Vortrags ist der Einfluss von Airborne Molecular Contamination (AMC) auf Prozesssicherheit und -ausbeute. Reinräume werden nach maximalem Prozessfluss und -ausbeute konstruiert, hierbei müssen die engen Bedingungen der Prozessfenster und die Servicefreundlichkeit des Prozessequipments eingehalten werden. Bei strenger Kosten- und Flächenoptimierung stören AMC bei der Reinraumauslegung und in der Produktion durch Ausbeuteminderung. Durch den Einsatz von maßgeschneiderten Lösungen, bestehend aus Filter Fan Units (FFU), HEPA-Filtern und Molekularfiltern, kann die Produktausbeute gezielt erhöht werden.Agenda
- Molekulare Filtration
- Gasförmige Luftverunreinigung
- Arbeitssicherheit