Die Arbeitsflächen im Reinraum sind die empfindlichsten Bereiche für Kontaminationen mit NVR und Verunreinigungen mit sedimentierten Partikeln. Das Personal ist verpflichtet, die Reinigungsarbeiten häufig und gemäß Protokoll durchzuführen. Die Überwachung ist jedoch meist selten und oft uneinheitlich. Idealerweise werden die Messungen in bestimmten Intervallen oder zu bestimmten Anlässen und für jeden vor Ort tätige Person durchgeführt. Wir zeigen, wie eine direkte Messung der Partikelbelastung auf der Oberfläche von reinraumtauglichen Werkbänken vor und nach einer Wischreinigung erfolgen kann. Der Schwerpunkt liegt auf der Integration der Messung in den Arbeitsablauf, dem Effekt von Echtzeit-Ergebnissen und den Kosten. Im Zusammenhang mit der direkten Messung werfen wir einen Blick auf das Monitoring mit Partikelfalle zur Überwachung von kontrollierter Bereichen.
Work surfaces in the cleanroom are the most sensitive areas for contamination with NVR and particular contamination. Staff is required to frequently run cleaning activities according to protocol. However, monitoring is infrequent and often inconsistent. Ideally, measurements are taken at set intervals or set events and for every staff working on site. We show how direct measurement of particle load on the surface of cleanroom qualified workbenches can be effected before and after a wipe cleaning. Emphasis is on integration of measurement in the workflow, the effect of real-time results, and on cost. In conjunction with direct measurement we take a look at monitoring with witness plate for monitoring of controlled areas.
