Die Arbeitsflächen im Reinraum sind die empfindlichsten Bereiche für Kontaminationen mit NVR und Verunreinigungen mit sedimentierten Partikeln. Das Personal ist verpflichtet, die Reinigungsarbeiten häufig und gemäß Protokoll durchzuführen. Die Überwachung ist jedoch meist selten und oft uneinheitlich. Idealerweise werden die Messungen in bestimmten Intervallen oder zu bestimmten Anlässen und für jeden vor Ort tätige Person durchgeführt. Wir zeigen, wie eine direkte Messung der Partikelbelastung auf der Oberfläche von reinraumtauglichen Werkbänken vor und nach einer Wischreinigung erfolgen kann. Der Schwerpunkt liegt auf der Integration der Messung in den Arbeitsablauf, dem Effekt von Echtzeit-Ergebnissen und den Kosten. Im Zusammenhang mit der direkten Messung werfen wir einen Blick auf das Monitoring mit Partikelfalle zur Überwachung von kontrollierter Bereichen.
