Die Wartung und Reinigung von Prozesstools sind unabdingbar. Die Öffnung der Prozesskammer zur Reinraumluft hin und die mechanische und chemische Behandlung der Prozesskammeroberflächen setzen eine Reihe von Chemikalien frei, die nicht in der Chemikalien-Liste erfasst sind. Dadurch steigt in der Regel das Kontaminationsniveau in Reinräumen an und stellt Reinraumbetreiber vor große Herausforderungen. Durch den Einsatz von maßgeschneiderten Lösungen, bestehend aus Filter Fan Units (FFU), HEPA-Filtern und Molekularfiltern, folgt die Entfernung der Kontaminationen durch hocheffiziente Luftfiltration der Reinraumluft.